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晶圓切割為什么要選擇10萬轉(zhuǎn)的氣浮主軸
日期：2025-07-19 17:26
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摘要：<p>
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晶圓切割需超高精度與穩(wěn)定性，10萬轉(zhuǎn)氣浮主軸憑借無接觸懸浮技術(shù)（空氣軸承支撐），實(shí)現(xiàn)1μm跳動精度，避免機(jī)械磨損，確保切割邊緣無崩裂。高速旋轉(zhuǎn)下，氣膜自潤滑降低熱變形，內(nèi)置渦流冷卻系統(tǒng)有效散熱，延長主軸壽命。其剛性結(jié)構(gòu)適配超薄刀片，提升切割效率與晶圓良率，是半導(dǎo)體行業(yè)高精度加工的核心部件。
